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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除、磷等雜質(zhì)，氧和混合氣燃燒時溫度高達(dá)3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作燃料，它比其他燃料更便宜。

工業(yè)氧的用途
工業(yè)氧主要用于氣體火焰加工和其他工業(yè)目的，執(zhí)行的是性標(biāo)準(zhǔn)。
在化工行業(yè)，工業(yè)氧氣用于改變產(chǎn)品分子結(jié)構(gòu)，提高乙烯、丙稀、氯化物工藝的生產(chǎn)能力。
在煉油、煤制氣行業(yè)，工業(yè)氧氣用于石油提取和精制，增加油、氣井產(chǎn)量和脫等。
在煉鋼行業(yè)，工業(yè)氧氣用于提高鋼材的產(chǎn)量和質(zhì)量。

氧（Oxygen），元素符號O，位于元素周期表第二周期ⅥA族。1774年英國科學(xué)家約瑟夫·普里斯特利（J.Joseph Priestley）用透鏡把太陽光聚焦在上，發(fā)現(xiàn)一種能強烈?guī)椭紵臍怏w。安托萬-洛朗·拉瓦錫（Antoine-Laurent de Lavoisier）研究了此種氣體，并正確解釋了這種氣體在燃燒中的作用。氧是地殼中豐富、分布廣的元素，也是構(gòu)成生物界與非生物界重要的元素，在地殼的含量為48.6%。單質(zhì)氧在大氣中占20.9%。

工業(yè)氧對氧氣的保存、灌裝、使用等質(zhì)量要求相對較低，在壓縮沖裝過程中，可能有呈酸性或堿性的潤滑水帶入鋼瓶。病人吸入含雜質(zhì)較多的工業(yè)氧，可能會發(fā)生嗆咳等呼吸道癥狀。
使用高純氧氣時應(yīng)注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作。高純氧氣能助燃，應(yīng)放在陰涼處，嚴(yán)禁接近煙火和易燃物；不可在氧氣表螺旋口上抹油；高純氧氣鋼瓶壓力，搬運時避免傾倒、撞擊，以防止爆炸。
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