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氧元素是由英國化學家約瑟夫·普利斯特里與瑞典藥劑師及化學家舍勒于1774年分別發現。但是普利斯特里卻支持燃素學說。 [3]  另有說法認為氧氣首先由中國人馬和首先發現。

高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除、磷等雜質，氧和混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作燃料，它比其他燃料更便宜。

分子篩制氧法（吸附法） 
利用氮分子大于氧分子的特性，使用特制的分子篩把空氣中的氧分離出來。首先，用壓縮機迫使干燥的空氣通過分子篩進入抽成真空的中，空氣中的氮分子即被分子篩所吸附，氧氣進入內，當內氧氣達到一定量（壓力達到一定程度）時，即可打開出氧閥門放出氧氣。經過一段時間，分子篩吸附的氮逐漸增多，吸附能力減弱，產出的氧氣純度下降，需要用真空泵抽出吸附在分子篩上面的氮，然后重復上述過程。這種制取氧的方法亦稱吸附法.利用吸附法制氧的小型制氧機已經開發出來，便于家庭使用。

2018年5月16日，大阪產業大學、日本國立天文臺及名古屋大學等組成的團隊宣布，使用南美智利的ALMA射電望遠鏡發現距地球132.8億光年的獅子座方向銀河中存在氧。
使用高純氧氣時應注意安全，做好防震、防火、防熱、防油等工作。高純氧氣能助燃，應放在陰涼處，嚴禁接近煙火和易燃物；不可在氧氣表螺旋口上抹油；高純氧氣鋼瓶壓力，搬運時避免傾倒、撞擊，以防止爆炸。
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